会期:2020年1月29日(水)〜31日(金)10:00-17:00
会場:東京ビッグサイト 西2ホール/会議棟
ブース番号:2W-N01-03
展示内容:
@山形県工業技術センターのMEMSに関する取り組みの紹介
A従来比5倍以上の高感度イオンセンサの展示・実演
(山形県工業技術センター・Tianma Japan株式会社・NECエンベデッドプロダクツ株式会社の共同開発)
B3Dリソグラフィを応用したMEMSプロセスとPd-Ni電鋳技術の展示・紹介
(山形県工業技術センター・スズキハイテック株式会社の共同開発)
外部リンク:
MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2020ホームページ
https://www.optojapan.jp/mems/ja/