◆ 環境制御型電子顕微鏡(工業技術センター／機械・電子関係)

環境制御型電子顕微鏡の外観 環境制御型電子顕微鏡
FEI
Quanta 400

平成１５年度導入

【主な用途・仕様】

電子ビームを試料に照射し、表面から発生する二次電子を雰囲気ガスのイオン化を利用して検出することにより、絶縁物，含水・含油試料の無処理観察、加熱・冷却による試料の形態変化の観察ができる。

・分解能 3.5nｍ（加速電圧：30kV）
・ステージ可動範囲 X=100mm, Y=100mm, Z=60mm
・試料室真空度 2,600Paまで制御可能
・冷却ステージ -5～30℃
・加熱ステージ室温～1,000℃

【担当部署】化学材料表面技術部：化学表面グループ


【設備使用の項目・使用料】環境制御型電子顕微鏡
使用料はこちらをご覧ください

【受託試験の項目・手数料】電子顕微鏡写真
EDS定性分析（固体、粉末）
手数料はこちらをご覧ください

【お知らせ】本装置は、山形県高度技術研究開発センターの設備です

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	環境制御型電子顕微鏡 FEI Quanta 400
平成１５年度導入【主な用途・仕様】電子ビームを試料に照射し、表面から発生する二次電子を雰囲気ガスのイオン化を利用して検出することにより、絶縁物，含水・含油試料の無処理観察、加熱・冷却による試料の形態変化の観察ができる。・分解能 3.5nｍ（加速電圧：30kV）・ステージ可動範囲 X=100mm, Y=100mm, Z=60mm ・試料室真空度 2,600Paまで制御可能・冷却ステージ -5～30℃ ・加熱ステージ室温～1,000℃ 【担当部署】化学材料表面技術部：化学表面グループ
【設備使用の項目・使用料】	環境制御型電子顕微鏡使用料はこちらをご覧ください
【受託試験の項目・手数料】	電子顕微鏡写真 EDS定性分析（固体、粉末）手数料はこちらをご覧ください
【お知らせ】	本装置は、山形県高度技術研究開発センターの設備です