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◆ 超高分解能走査型電子顕微鏡(工業技術センター/MEMS関係)

 *設備移設・調整のため、令和2年5月12日(月)〜5月31日(日)までご利用いただけません。


JSM-7900F
超高分解能走査型電子顕微鏡
日本電子(株)

平成29年度導入
   
(公財)JKA補助事業



【主な用途・仕様】
 製品・部品・材料の観察、元素分析を行う装置です。

 ・電子銃:電界放出形電子銃
 ・加速電圧:0.01〜30kV
 ・写真倍率:25〜100万倍
 ・分解能:1.0nm以下(二次電子像1kV、15kV)
 ・最大試料サイズ:φ100mm×高さ40mm
 ・分析可能元素:ホウ素(5B)からウラン(92U)
 ・分析機能:定性分析、簡易定量分析、デジタルマッピング
 ・観察補助機能:自動焦点合わせ、自動非点収差補正
 ・データ形式:画像(BMP、TIFF、JPEG) 分析(CSV等)

*絶縁物試料は金属薄膜コーティングが必要です。
*真空で観察するため、液体や揮発成分を多く含む試料にはお使いいただけません。

【担当部署】 電子情報システム部:MEMSグループ

【設備使用の項目・使用料】 設備使用とは? 電界放出形走査電子顕微鏡
使用料はこちらをご覧ください
【受託試験の項目・手数料】 受託試験とは? 電界放出形走査電子顕微鏡写真
EDS定性分析(固体、粉末)(電界放出形走査電子顕微鏡を用いたもの)
手数料はこちらをご覧ください

このページについてのお問い合わせ
 ○○○○部 ○○担当
Tel. XXX-XXX-XXXX
Mail: XXX@XXXX.XXXXXXX.XX

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